罕用压降检漏法存在的问题及克服的措施
(1)压降检漏法的锐敏度
压降法检漏正常采纳动态测试,这种动态测试正常是在初始和终止检漏的某个工夫距离继续。测量的锐敏度重要和测试的距离工夫、测压仪器的最小可检压力无关。那末不思忖热度和出气效应,延伸检漏初始到终止时测量工夫,就能够普及测试锐敏度。然而,延伸检漏工夫,就会增多检漏周期,正常在单件出品的尝试生年中,可容忍的检漏工夫是24~48时辰。压力降检漏中,当热度和压力测试的辩白率越高,锐敏度越高,则漏率测量也就越锐敏,因而,尽可能地取舍辩白率和精度较高的测温计和压力计。
(2)湿度问题
在压力降检漏中,被检件正常都不继续事后抽真空,而是在大气本底的根底上充入检透气体。检透气体蕴含有水蒸汽。那末热度低于露点热度,水蒸汽将凝聚在液体名义,那样水蒸汽的压力要从检透气体的总压力中剔除。当热度高于露点热度,被检件中的水蒸汽将挥发而增多被检件大气中的总压力。水蒸汽的分压力加上气体的实在压力形成了压力降检漏内中中的总压力。那末水蒸汽的分压力在检漏内中中维持一成不变。因为被检件中的总压力满足现实气体方程,水蒸汽的分压值能够剔除。然而,当热度产生变迁,水蒸汽的凝聚或挥发对恒定体积被检件中大气的总压力将产生较大的变迁。那末不对水蒸汽产生的莫须有继续校准,压降检漏法将产生较大的偏差。
在露点热度时,大气中水蒸汽的挥发和凝聚达成了失调,在压力变迁检漏中,经过露点传感器测量露点热度,就能够失去水蒸汽的分压力,表1中是常压、常温状态下相反露点的水蒸汽压力。1℃的露点热度导致的被检件中的压力变迁约多少百帕。
因而高锐敏度的压降法检漏中,为了正当地划算漏率真值,当被检件中的热度低于露点热度时,务必从总压力中减去水蒸汽压力:Pg=P-Pv,那样升高偏差。
罗茨水环真空机组、罗茨旋片真空机组
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