油封机械真空泵零碎的返流起因
油封机械真空泵(简称电泵)宽泛利用于真空零碎中,少数作为前级真空泵。因为迷信技能的停滞,对肮脏真空的务求愈来愈广泛.因而电泵中的油蒸气返油问题便愈来愈受到注重。咱们把电泵油流向高真空端的景象所谓电泵的返油。
电泵零碎的返流起因
返油景象时常产生在抽上呼吸道道中压力较低时,正常零碎粗抽时(真空度大于130Pa)不会产生返流景象,所以此时弹道中的气旋为定向粘滞流。然而随着泵出口弹道中的压力升高,气体固定状态由定向粘滞流逐步变为自在分子流,油蒸气分子的均匀自在程一直增大,使分子之间的碰撞位数一直缩小,这就会使电泵油分子跑到放散泵中或经过粗抽弹道跑到真空室中,净化真空零碎。
关于电泵与油放散泵组成的真空零碎,电泵油进入到放散泵中后,岂但莫须有放散泵的极限真空,而且会使放散泵的返油率增多。早在1960年岁,Baker与LaHrenson用气液色谱仪对零碎中的气体成份继续综合,发现电泵中只管用的是均匀分子量为530的矿产油,但返流的油蒸气分子量却小于300,均匀值为150。这表明电泵油裂解是电泵返油的重要成分。电泵作业内中中是靠油膜密封和光滑的,在电泵中因为非金属旋片与非金属泵腔内壁附着产生全部过热,使旋片陆续划破贼亮滑膜,招致泵油产生复杂性的热合成或热非金属作触媒的合成,油合成成碎片,从而产生轻馏分的油蒸气。这种轻馏分油蒸汽的分子量小,易反放散,较轻易跑到高真空端。若在矿产油中掺入l%的滑润剂(例MoS2),使泵内附着加重,或采纳性能良好的放散泵油作电泵作业液,可使油的衰变失去改善。那末采纳全氟聚醚(Fomblin)作电泵油,则返油率可升高1/3,而且它的蒸气或碎片(CF2,CF3,C3F3)在电子的轰击下不会构成聚合膜,而且组分中不蕴含氢或硅,因而不会反响生成碳氢复合物或硅复合物。表1给出了双级油封电泵采纳相反作业液的返油率测试后果。
表1双级电泵的返油率尝试后果
试验证实,电泵返油率与泵的大小、旋片的线进度、泵作业热度等成分无关。泵越大返油率越大;旋片进度越高返油率越高;作业热度越高,油蒸气的决裂也愈重大,即油蒸气的返流愈重大。
　

罗茨水环真空机组、罗茨旋片真空机组