采纳离子阱或冷凝挡油阱预防抽气零碎的返油

采纳离子阱
离子阱的构造原理如图21所示,正常将离子阱装置在油封机械真空泵的出口管路上。离子阱是利用冷负极磁场束缚气体尖端放电的原理,在一个水冷圆柱状负极筒的核心拔出一根棒状阳极(Ua=3kV),由一环状永远磁石提供一个轴向磁场。离子阱作业在10～10-2Pa压力规模内,那末尖端放电强度剩余大,当油蒸气分子穿过尖端放电空间时,将被电子和离子轰厮打成碎片。而后在电极名义上聚合生成高分子量的碳氢固态膜。
(a)横截面的电子轨迹(b)构造示用意
图21离子阱原理示用意
图22示出一种带水冷隔板的离子阱原理图。阱由阳极、负极、水冷板及磁钢组成。阳极接3kV正低压,负极是阱壳体(接地)磁钢装在壳体里面,水冷板在于壳省外部,对着电泵的抽气口。
图22带水冷隔板离子阱原理图
电泵作业时,返流的油蒸气碰到阱内的水冷板后,被反照到阱的壳体壁上。因为阳极与负极之间有3kV的直流正低压,电极之间能够产怄气体尖端放电,尖端放电构成的电子在由阱内部磁钢产生的磁场的疏导下继续电钻形静止,使被抽气体更为无效地水解。水解产生的离子在磁场作用下,打到负极(壳体壁)上,把已沉积在壳体壁上的油分子轰击成碎片,并产生聚合物吸附在阱的内壁上。
离子阱的挡油效率可达99%,这种阱运用保护容易,但构造比拟简单。设置冷凝挡油阱
在零碎的前级管路上设置高温冷凝阱拿获电泵返流的油蒸汽分子,高温冷凝阱的挡油率因冷阱的多少何形态而异。关于低流导的液氮阱,挡油率乃至可达成99.9%。但半超导体致冷冷阱,对电泵油合成的轻馏份(如CH2等)均有效。
a.液氮挡油阱
液氮冷阱拿获油蒸气的原理与放散泵冷相反,也是利用高温名义来拿获油蒸气的。这种阱能够使返油率升高97%。然而要时常补给液氮,要不当液面升高后,阱的热度升高,已拿获的油分子又会开释进去。鉴于这种起因,工事上运用不多。
b.半超导体致冷挡油阱
这种阱致冷原理与半超导体时差制冷障板相反。那末阱的热度为-40℃,能够使返油率升高75%,可见挡油动机不如上述各类冷阱。但这种冷阱操作不便,革除油蒸气分子轻易,只有将制冷元件反向接通,冷端会变为热端,把吸附的油蒸气革除。

罗茨水环真空机组、罗茨旋片真空机组