在制药设备行当中，常有真空挥发、真空稀释、真空输送、真空灭菌、真空干涩、真空包装和真空混合乳化等真空类设施。该署设施都务必装备真空泵，罕用到的真空泵有液环式真空泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵等，这多少种真空泵能够间接抽除水蒸汽；再有多少种罕用的旋片泵、往返泵、滑阀泵和罗茨泵等，它们固然使不得间接抽除水蒸汽，然而能够与冷凝联结运用；那末务求被偷空间和四周条件肮脏、无净化，也能够利用各族内容的干泵，眼前干泵较贵，但它是未来的停滞位置。
1.液环式真空泵
1.1作业原理
液环式真空泵属于体积泵，其作业介质为液体，那末该液体用的是水，则称为水环式真空泵。叶轮c（旋子）偏颇装置于圆柱壳体a内，当叶轮缭绕时，因为向心力的作用，使泵壳中的水甩向四处，构成等薄厚水环b，水环与叶轮相切构成月牙形空间d，此空间腔被宰割成多少个小室，并随叶轮转动而逐步变迁。当此空间由小变大时，构成吸气腔e，泵吸入气体；当月牙形空间由大变时辰，构成排气腔f，泵排出气体，从而兑现了泵的抽气作用。
1.2运用步骤
采纳液环泵不行能失去低于作业液体蒸汽压力的出口压力，那末液体蒸汽压力濒临出口压力，则会产怄气蚀，对泵造成危害。比如，水在15℃时的蒸汽压力为1.7×103Pa，为防止气蚀，容许水环泵的最低出口压力为3.3×103Pa。那末须要出口压力低于该值，则应选存在更低蒸汽压力的介质，如火油、苯乙烯、乙二醇等，极限压力为6.7×103Pa。
从泵入口侧流出的气体和液体混合物流入结合器，在结合器内气液结合，排出的气体含有比较于液体同热度下蒸汽压力的蒸汽含量。从作业液的价钱和条件掩护两上面思忖，液环泵运行形式如图2所示。该运行形式的重要特点是新液体的运用量一大批缩小，大全体液体从结合器回来泵内，在泵出口前退出冷液体，使泵的出口热度根本维持恒定。
那末液环泵抽除有毒无害气体，或因作业须要务必运用高价钱的作业液体，在结合器中结合进去的气体使不得放空，应回收解决，而结合进去的液体则务必经换热器结冰至泵液畸形作业热度后，全副回来泵中。
眼前国产水环泵的重要型号有SZ型、SZB型、SZH型、SZZ型、SZL型、SK型和ZBE1型。其中，SZ型水环泵可用来抽除无侵蚀性、不溶于水、或不含有液体颗粒的气体和大气；SZB型为悬臂式，运用特点与SZ型根本相反；SZH型水环式真空泵重要用来抽除大气，亦能够用来真空过滤安装；SZZ型和SZL型为直联泵，用处同ZS型泵；SK型水环式真空泵是一种效率较高的双作用型水环真空泵，作业气体热度在-10～+40℃，宽泛用来真空干涩、真空脱水、真空过滤等有一大批水蒸汽溢出安装；ZBZ1型水环泵是引进德国技能开发的节能出品，用处同SK型水环式真空泵。
1.3运行特点
通常水环式真空泵的运行条件是泵吸入的气体热度为20℃，绝对湿度为70%的大气，出口气体压力为101.325kPa，泵作业液为15℃的水。作业液体的热度及其蒸汽压力重大莫须有抽速。抽气室与叶轮室中作业液体分压力随热度升高而增大，后果使输运气体体积变小，泵抽速上升。图3给出被抽除气体为20℃干大气，泵作业液为水时，在相反热度下的抽速SLt20与15℃下的抽速SL15.20之比。
被抽气体对泵性能也有莫须有。那末被抽气体是由大气与蒸汽混合物组成，则被抽蒸汽与冷的作业液相接触时可产生冷凝，那时抽速有所增大。采纳15℃水为作业液时，抽除相反热度下定然量的大气与水蒸汽混合物的抽速SG15.δ与20℃干涩大气的抽速Sl15.20之比。自然大气与水蒸汽的对比相反，对抽速的莫须有也是不一样的。
那末输送干涩大气，因为干涩大气的热定量小，它很快被结冰至作业液热度，被抽气体与作业液之间较大的热度差事气体的体积减小，后果会使液环泵抽速增大。那末被抽气体溶化于作业液中，当它随着作业液进入泵出口侧时会开释进去，后果会使抽速减小。液环真空泵所需功率受作业液粘度、密度、流量以及入口压力莫须有，运行时要予以关注。
2.水喷射式真空泵
2.1作业原理
　　 水喷射泵作业原理，存在定然压力的作业介质水，经过喷嘴向吸入室高速喷出，将水的压力能变为电能，构成高速射流；吸入室中的气体被高速射流强制跟随与之混合，构成气液混合流，进入扩压器，从而使吸入室压力升高，构成真空，在扩压器的扩张段内，混合射流的电能转变为压力能，进度升高压力升高，气体被进一步压缩，与水一起排出泵外，在水箱中气水结合，气体开释入大气，水由水泵轮回再利用，周而复始达成抽真空的目标。单级水喷射泵的喷嘴能够是由一个渐缩喷嘴形成的单喷嘴构造，也能够是在一个孔板上开设多个孔口的多喷嘴构造。
2.2运行特点
水喷射泵作业零碎由水泵、水喷射泵、管路、阀门、水汽结合器及测试量具等组成，罕用零碎有立式和卧式两种装置形式。
国产水喷射泵的抽器量在5～800m3/h之间，单级泵的极限真空度可达3000Pa（23托）左右。为普及真空度，可采纳汽水串联形式运行，那末采纳一级水喷射泵与三级蒸汽喷射泵搭配，组成4级汽水串联喷射泵机组，极限压力可达成20Pa（0.15mmHg）。为预防被抽介质侵蚀真空泵，可选用防腐型喷射泵。离心水泵可用加强聚丙烯（RPP）、不锈钢、氟合金、玻璃钢打造；喷射泵可选用不锈钢、铸铁内滚为性聚乙烯（PE）或聚三氟氯乙烯钢衬陶瓷，喷嘴为聚四氟乙烯或陶瓷等。
3.旋片式真空泵
3.1构造及作业原理
旋片式真空泵，分单级和双级两种构造。
单级旋片泵只有一个作业室，泵重要由转子、旋片、旋子组成。在转子腔内偏颇地装有旋子，旋子槽中服有两块旋片，因为绷簧弹力和旋片向心力的作用而紧贴于腔壁。转子上的进、排气口及月牙形泵腔被旋子和旋片分为吸气腔和排气腔两全体。当旋子在转子腔内缭绕时，周期性地使进气口体积逐步扩充而吸入气体，同声逐步放大排气口体积将已吸入气体压缩，从排气缸排出。排气缸浸在油里以预防大气旋入泵中。油经过泵体上的缝隙、油孔及排气缸进入泵腔，使泵腔内所有的静止名义被油遮盖，构成了吸气腔与排气腔之间的密封。同声，油还充斥了泵腔内的所有无害空腔，以肃清它们对极限真空（或称残余压强）的莫须有。

罗茨水环真空机组、罗茨旋片真空机组